Chipindustrie: Wechsel von der Mikro- in die Nanodimension
In der Chipindustrie bereiten sich die Hersteller inzwischen auf den Wechsel von der Mikro- in die Nanodimension vor. Eine Voraussetzung hierfür sind neue Entwicklungen im Bereich der Lithografie. Bei der Chipherstellung werden die Funktionen, die ein Chip haben soll, in Strukturen umgesetzt und mit Hilfe von Belichtungstechniken auf Siliziumscheiben, so genannten Wafern, aufgebracht. Weiter lesen …